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差距进一步扩大？ASML第三代EUV光刻机交付，用于2nm芯片报价约13亿元
發布時間：2025-08-02 02:08:09 來源：奉天承運網 作者：娛樂
ASML近日在社交平臺發文稱：芯片制造商需要速度，第一臺TWINSCAN NXE:3800E現已安裝在一家芯片工廠中。
據了解，TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代標準EUV光刻機，其配備了0.33數值孔徑透鏡，相較于此前發布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了進一步提升，能夠支持未來幾年芯片行業3nm以及2nm制程芯片的生產制造。
在性能方面，TWINSCAN NXE:3800E在晶圓處理速度與對準精度方面有了更出色的表現，它可以實現每小時處理195片晶圓的速度，相較于3600D每小時約160片的速度大約提升了22%，而且未來還有可能提升到每小時處理220片晶圓的速度。此外它還提供了小于1.1nm的晶圓對準精度。
TWINSCAN NXE:3800E精度與速度上的提升，讓芯片制造廠商在生產2nm制程芯片以及后續需要雙重曝光的制造技術時有很好的效果。不過即使是用于4nm或者5nm的制程芯片，TWINSCAN NXE:3800E也能夠提升效率，讓芯片的生產更高效，從而降低成本。
當然，這樣一套目前行業領先的EUV光刻機自然價格也是不便宜，據了解TWINSCAN NXE:3800E每套報價為1.8億美元，換算成人民幣約為13億元。不過相較于前段時間ASML賣給英特爾的High-NA EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200（報價為3.8億美元），也算是比較有性價比了。
雖然ASML官方并沒有透露首臺TWINSCAN NXE:3800E具體交付給了哪家廠商，但有評論指出是英特爾。在ASML的助力下，美國芯片企業發展順風順水，在努力拉開與其它國家的差距。
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