成本降一半！佳能纳米压印技术对抗ASML，已可生产2nm半导体
根據日本媒體的報道，佳能面向半導體電路光刻工序推出了搭載自主研發的「納米壓印」技術設備，這套設備可以大幅降低成本以及耗電量，備受半導體廠商的期待，而且目前可以生產為2nm的產品。
根據佳能半導體機器業務部長巖本和德的介紹，納米壓印就是把半導體電路圖的掩膜壓印到晶圓上，在晶圓上只壓印一次，就可以在合適的位置形成復雜的二維或者三維電路，如果改進掩膜，甚至可以生產2nm的產品。
納米壓印的特點是設備構造簡單，相較于傳統刻燒電路的方法，納米壓印的耗電量可降至1/10，設備價格也會便宜很多。據估算，納米壓印1次光刻工序需要的成本可以降至傳統光刻設備的一半。
巖本和德還介紹，在2017年時，佳能便與鎧俠、大日本印刷合作開發，納米壓印技術的量產用途的實用化已經有眉目，可以面向客戶銷售，另外納米壓印技術目前全球只有佳能在做，進入門檻也很高。
2000年左右，日本與尼康曾占據了世界光刻設備很大一部分市場，然而隨著荷蘭SAML開發出EUV光刻設備，市場隨即被洗牌，EUV成為尖端半導體光刻的主流，佳能也流失了大部分市場。
如今佳能十年磨一劍推出納米壓印技術，有一種要重新奪回光刻市場的架勢。不過目前ASML也已經向英特爾交付首臺2nm EUV光刻機，短時間能佳能想要依靠納米壓印技術對抗ASML，或許希望并不大。
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